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577-67370263更新時間:2009-09-10
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旋片式真空泵的工作原理
如圖為旋片泵的工作原理示意圖,旋片泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結(jié)構(gòu)是利用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子(轉(zhuǎn)子的外圓與定子的內(nèi)表面相切兩者之間的間隙非常?。┖娃D(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片,當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時,始終沿定子的內(nèi)壁滑動。
兩個旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個部分,當轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大,A空間的壓強不斷的降低,當A空間內(nèi)的壓強低于被抽容器內(nèi)的壓強,根據(jù)氣體壓強平衡的原理,被抽的氣體不斷地被抽進吸氣腔A,此時正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小,壓力不斷地增大,此時正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的容積進一步地減小,C空間的壓強進一步的升高,當氣體的壓強大于排氣壓強時,被壓縮的氣體推開排氣閥,被抽的氣體不斷地穿過油箱內(nèi)的油層而排至大氣中,在泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)過程中,不斷地進行著吸氣、壓縮、排氣過程,從而達到連續(xù)抽氣的目的。
排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中,油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進入泵腔,使泵腔內(nèi)所有運動的表面被油覆蓋,形成了吸氣腔與排氣腔的密封,同時油還充滿了一切有害空間,以消除它們對極限真空的影響。
雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成,兩室前后串聯(lián),同向等速旋轉(zhuǎn),Ⅰ室是低真空級,Ⅱ室是高真空級,被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室,當進入的氣體壓力較高時,氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮,壓強急速增大,被壓縮的氣體不僅從排氣閥排出,而且經(jīng)過中壁通道,進入Ⅰ室,在Ⅰ室被壓縮,從低級排氣閥排出;當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時,雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮,也推不開排氣閥排出,氣體全部經(jīng)中壁通道進入Ⅰ室,經(jīng)Ⅰ室的繼續(xù)壓縮,由低級排氣閥排出,因此雙級旋片真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。